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蒸鍍工藝為什么制約著OLED的產能?

2024-12-05 15:08:58 sh默尼 30

在OLED面板制程中,蒸鍍工藝制約著OLED的良率和產能。隨著當下世代線的增加,原先應用于小尺寸的水平蒸鍍技術似乎難以應對。水平蒸鍍工藝存在“重力下垂”的技術瓶頸。當水平放置時,在重力的作用下FMM(FMM是超薄的金屬遮罩)中間與邊緣存在一定的偏移量,而且FMM尺寸越大偏移的幅度越明顯。一旦FMM板出現重力變形,整張玻璃基板上的OLED蒸鍍沉積厚度和形狀就會出現不一致的現象,導致面板難以“形成像素點”、“保持像素點分辨率PPI”、“保證像素點的良率”。


因此,將FMM板轉換一個方面,以“垂直蒸鍍”的方式看起來是在成本上最友好的優化流程方案。垂直蒸鍍工藝則將FMM垂直放置,FMM和玻璃基板形變小,蒸鍍更均勻,像素位置精度(PPA)更高,混色更小,同時可以提升分辨率,降低功耗、成本。


不過,垂直蒸鍍同樣帶來許多技術難題。垂直蒸鍍要求更高的溫度輸送氣化的有機物,這些有機物可能會在過多的熱量環境產生特性的變化;另外,確保重復蒸鍍2米以上的8.5代玻璃基板的蒸鍍工藝,并在無損傷的情況下移動的物流技術也并非易事。



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